[实用新型]金属微纳超结构表面等离激元超快探测结构

摘要

本实用新型属于光学领域和微纳系统领域，具体为一种金属微纳超结构表面等离激元超快探测结构。金属微纳超结构表面等离激元超快探测结构，包括Si基底，Si基底上生长有一层二氧化硅，二氧化硅层上设有一层石墨烯薄膜，石墨烯薄膜上两侧分别都设有方块状金属Au块，两方块状金属Au块之间的石墨烯薄膜设有一层TiO，TiO层上均布有球状金属Ag，球状金属Ag上设有一层石墨烯薄膜覆盖层，球状金属Ag之间具有纳米级间隙，解决了石墨烯制作的光电探测器由于光生载流子较少使得灵敏度受限、传输速度较慢等问题。

主权项

金属微纳超结构表面等离激元超快探测结构，其特征在于包括Si基底（1），Si基底（1）上生长有一层二氧化硅（2），二氧化硅（2）层上设有一层石墨烯薄膜（3），石墨烯薄膜（3）上两侧分别都设有方块状金属Au块（5），两方块状金属Au块（5）之间的石墨烯薄膜（3）设有一层TiO（4），TiO（4）层上均布有球状金属Ag（6），球状金属Ag（6）上设有一层石墨烯薄膜覆盖层（7）。