[实用新型]线位移传感器检测标准装置

摘要

本实用新型公开了一种线位移传感器检测标准装置，属于检测装置领域，解决了传统的线位移传感器校准的准确度低，重复性差，操作繁琐等的问题；包括激光干涉仪系统，校准台，气吸附滑块，位移驱动控制系统，数据采集处理系统，夹具，所述夹具浮子式升降旋转移动夹具、滚轮支撑夹具、球形磁环组合体、T型槽板。其中浮子式升降旋转移动夹具包括浮子式V型块组合体和旋转移动组合体，浮子式升降旋转移动夹具用来固定浮子式传感器的头部，滚轮支撑夹具用来支撑浮杆，球形磁环组合体用来固定浮子，几种夹具的配合使用，保证了线位移传感器的定位准确，校准的准确性和重复性得到提高。

主权项

一种线位移传感器检测标准装置，包括激光干涉仪系统(4)，校准台，工作台，位移驱动控制系统，数据采集处理系统(1)和夹具；其特征在于：所述夹具包括浮子式升降旋转移动夹具(2)和滚轮支撑夹具(3)，所述浮子式升降旋转移动夹具(2)包括浮子式V型块组合体(2‑1)和旋转移动组合体(2‑2)。