[实用新型]一种硅基MEMS阵列扬声器有效
| 申请号： | 201720141221.X | 申请日： | 2017-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN206542573U | 公开（公告）日： | 2017-10-03 |
| 发明（设计）人： | 徐波;徐金国;吴逸飞;朱志刚 | 申请（专利权）人： | 汉得利（常州）电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/02 | 分类号： | H04R19/02 |
| 代理公司： | 常州市华信天成专利代理事务所(普通合伙)32294 | 代理人： | 钱锁方 |
| 地址： | 213022 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅基MEMS阵列扬声器，包括基板，多个MEMS微声单元，多个MEMS微声单元阵列在基板上；MEMS微声单元包括作为中间电极的振膜、连接在振膜上下表面的上绝缘片和下绝缘片以及作为上电极的上传导板和作为下电极的下传导板，上传导板安装在上绝缘片上，下传导板安装在下绝缘片上，所述上绝缘片和下绝缘片上都设有中心孔，上传导板设有多个与中心孔连通的发音孔，下传导板上设有与中心孔连通的通气孔。本实用新型具有厚度薄，音质好等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 阵列 扬声器 | ||
【主权项】：
一种硅基MEMS阵列扬声器，其特征在于：包括基板，多个MEMS微声单元，多个MEMS微声单元阵列在基板上；MEMS微声单元包括作为中间电极的振膜、连接在振膜上下表面的上绝缘片和下绝缘片以及作为上电极的上传导板和作为下电极的下传导板，上传导板安装在上绝缘片上，下传导板安装在下绝缘片上，所述上绝缘片和下绝缘片上都设有中心孔，上传导板设有多个与中心孔连通的发音孔，下传导板上设有与中心孔连通的通气孔。
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