[实用新型]一种多晶硅铸锭炉加热器

摘要

本实用新型涉及多晶硅铸锭炉设备，旨在提供一种新型多晶硅铸锭炉加热器。其侧部加热器由在竖直方向上呈波浪形的石墨加热器组成，首尾连接并围成矩形或圆形；侧部加热器连接板通过电极连接板与石墨电极相接；交错对角布置的石墨电极组接至第一直流电源的正负极；其顶部加热器由两块在水平方向上呈蛇形的顶部加热器连接板连接的石墨加热器组成，其首尾两端各设有石墨电极，分别接至第二直流电源的正负极。本实用新型采用直流电源进行加热，可以有效保证热场均匀性，同时避免交流电产生的磁场对定向长晶工艺的影响。能使得长晶界面水平，提高硅锭品质。顶部、侧部供电电源独立开，便于单独控制顶部、侧部加热器功率，有利于工艺调节。

主权项

一种多晶硅铸锭炉加热器，包括顶部加热器和侧部加热器，其特征在于，所述侧部加热器由至少四块在竖直方向上呈波浪形的石墨加热器组成，各石墨加热器通过侧部加热器连接板实现首尾连接并围成矩形；在位于该矩形四角位置的侧部加热器连接板上，通过电极连接板与石墨电极相接；其中，处于对角的两个石墨电极作为一组分别通过水冷铜电极接至第一直流电源的正极，另一组处于对角的两个石墨电极分别通过水冷铜电极接至第一直流电源的负极；所述顶部加热器由两块在水平方向上呈蛇形的石墨加热器组成，两石墨加热器对称布置且在首尾两端分别以顶部加热器连接板连接；在两石墨加热器的首尾两端各设有石墨电极，其中一个石墨电极通过水冷铜电极接至第二直流电源的正极，另一个石墨电极通过水冷铜电极接至第二直流电源的负极。