[实用新型]连体五维旋转样品驱动器有效
| 申请号： | 201720153334.1 | 申请日： | 2017-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN206544157U | 公开（公告）日： | 2017-10-10 |
| 发明（设计）人： | 郭方准 | 申请（专利权）人： | 大连齐维科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B25H1/14 | 分类号： | B25H1/14 |
| 代理公司： | 大连博晟专利代理事务所(特殊普通合伙)21236 | 代理人： | 于忠晶 |
| 地址： | 116000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型属于超高真空设备的多维驱动领域，特别涉及一种连体五维旋转样品驱动器。该驱动器包括X向转动机构、X向移动机构、Y向转动机构、Y向移动机构、Z向移动机构，以上五个机构相互连接，并分别连接样品托盘组件。本实用新型有别于以往单一的一维驱动器和简单的二维角度驱动器，采用微分头直线驱动器结合磁耦合直线导入器和一维直线驱动器，可实现被驱动件的轴向驱动或绕固定轴的角度摆动，从维度上讲，利用了直线驱动与旋转驱动的结合达到了五维的驱动，无论真空内外均对磁环境没有严格要求，且驱动的精度高、操纵性好。 | ||
| 搜索关键词： | 连体 旋转 样品 驱动器 | ||
【主权项】：
连体五维旋转样品驱动器，其特征在于：包括X向转动机构、X向移动机构、Y向转动机构、Y向移动机构、Z向移动机构，以上五个机构相互连接，并分别连接样品托盘组件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大连齐维科技发展有限公司，未经大连齐维科技发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720153334.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种检测用重水平台
- 下一篇：一种可90°翻转的工作台
