[实用新型]一种放射状多口样品传递机构有效
申请号: | 201720153342.6 | 申请日: | 2017-02-21 |
公开(公告)号: | CN206546376U | 公开(公告)日: | 2017-10-10 |
发明(设计)人: | 郭方准 | 申请(专利权)人: | 大连齐维科技发展有限公司 |
主分类号: | G01N35/10 | 分类号: | G01N35/10 |
代理公司: | 大连博晟专利代理事务所(特殊普通合伙)21236 | 代理人: | 于忠晶 |
地址: | 116000 辽宁省大连*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型属于超高真空设备的三维驱动领域,特别涉及一种放射状多口样品传递机构。该传递机构,主传动轴、副传动轴分别与行星齿轮系连接,行星齿轮系连接连接板,连接板与内导轨间可滑动连接,内导轨连接滑动块,外导轨与滑动块间可滑动连接,滑动块连接样品托板。本实用新型有别于以往单一的一维旋转驱动和一维直线驱动器形式,是采用螺旋直线驱动器结合一维旋转驱动器并设计行星齿轮系而成的一个放射形样品传递机构,无论真空内外均对磁环境没有严格要求,且驱动的精度高、操纵性好,可在真空转换腔室中连续传递和分配样品,可以实现被驱动件的轴向驱动或绕固定轴的角度变换,样品托板可到达任意窗口位置,从维度上讲,实现了直线驱动与旋转驱动的结合。 | ||
搜索关键词: | 一种 放射 状多口 样品 传递 机构 | ||
【主权项】:
一种放射状多口样品传递机构,其特征在于:主传动轴(2)、副传动轴(12)分别与行星齿轮系连接,行星齿轮系连接连接板(20),连接板(20)与内导轨(4)间可滑动连接,内导轨(4)连接滑动块(6),外导轨(7)与滑动块(6)间可滑动连接,滑动块(6)连接样品托板(24)。
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