[实用新型]匹配链式扩散的刻蚀碱槽喷淋装置有效
| 申请号： | 201720154745.2 | 申请日： | 2017-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN206613662U | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 潘浩 | 申请（专利权）人： | 无锡德鑫太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05C11/10;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人： | 张婧 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种匹配链式扩散的刻蚀碱槽喷淋装置，包括至少两道平行设置的支架导轨，且两相邻支架导轨构成一用于腐蚀硅片的独立碱道，该相邻支架导轨上设有至少一个可沿支架导轨来回移动的用于均匀导流碱液的导流装置，该导流装置上设有进液口，且所述导流装置的内部均布有若干个与进液口相连通的流通管道，碱液由进液口流入导流装置内顺着流通管道均匀滴落。该喷淋装置取消了现有碱槽中的管道滴孔设计，采用导流装置将滴液滴在硅片PN结表面，杜绝碱刀堵塞，从而避免硅片局部无法提升方阻和电池片效率低下等异常现象。 | ||
| 搜索关键词： | 匹配 链式 扩散 刻蚀 喷淋 装置 | ||
【主权项】：
一种匹配链式扩散的刻蚀碱槽喷淋装置，其特征在于：包括至少两道平行设置的支架导轨(1)，且两相邻支架导轨(1)构成一用于腐蚀硅片的独立碱道，该相邻支架导轨(1)上设有至少一个可沿支架导轨(1)来回移动的用于均匀导流碱液的导流装置(2)，该导流装置(2)上设有进液口(3)，且所述导流装置(2)的内部均布有若干个与进液口相连通的流通管道，碱液由进液口(3)流入导流装置内顺着流通管道均匀滴落。
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