[实用新型]一种马达装置及蚀刻装置有效
| 申请号： | 201720155304.4 | 申请日： | 2017-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN206432812U | 公开（公告）日： | 2017-08-22 |
| 发明（设计）人： | 廖文晟 | 申请（专利权）人： | 东旭（昆山）显示材料有限公司;东旭集团有限公司;东旭科技集团有限公司 |
| 主分类号： | H02K5/12 | 分类号： | H02K5/12;H05K3/06 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司11283 | 代理人： | 乔雪微,严政 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市昆山市开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及电子工业领域，公开了一种马达装置及蚀刻装置。马达装置包括位于壳体内部马达；进气孔，位于所述壳体上并与壳体内部相通，允许气体进入壳体内部，并使得壳体内部相对于外部为正压。蚀刻装置包括如上马达装置。通过在马达电机外添加壳体，并通入气体，使壳体内部压力大于外部压力，可有效避免外逸蚀刻液和/或蚀刻气进入壳体对马达电机造成侵蚀。在包括如上马达装置的蚀刻装置的优选方案中，在蚀刻装置设置水封区，刻蚀机启动后，在水封区内持续补给能捕获蚀刻液和/或蚀刻气的流体并送至待处理处，可有效避免蚀刻液和/或蚀刻气外逸，降低飘散到马达周围的蚀刻液和/或蚀刻气，可对马达电机进行进一步的保护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 马达 装置 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种马达装置，其特征在于，该马达装置包括：马达(1)，该马达(1)位于壳体(2)内部；进气孔(3)，该进气孔(3)位于所述壳体(2)上并与壳体(2)内部相通，该进气孔(3)允许气体进入壳体(2)内部，并使得相对于壳体(2)外部，壳体(2)内部为正压。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东旭（昆山）显示材料有限公司;东旭集团有限公司;东旭科技集团有限公司，未经东旭（昆山）显示材料有限公司;东旭集团有限公司;东旭科技集团有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720155304.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种应用于柴油发电机静音机组的消音器防雨帽
- 下一篇：一种脊传输线耦合结构
