[实用新型]OLED平面显示行业大尺寸超精密全自动坐标量测设备

摘要

本实用新型公开了一种OLED平面显示行业大尺寸超精密全自动坐标量测设备，其包括以下组成部分装置本体，用于产品尺寸检测；空气干燥机，控制供给装置的空气温度和湿度，并净化空气；控制箱，收纳各种电气零件和控制零件，以及照明装置；控制台，设备的控制部分，有PC本体、控制面板、控制盒以及触摸显示屏组成；桌面控制器，控制装置本体的X、Y、Z轴运动；本实用新型的超精密全自动坐标量测设备具有以下优点具有和以往装置相同的大小，但是检测范围扩大至2200*2500mm；具有超精密的运动精度和再现性，实现无发热和磨损的长期稳定性；可通过图像处理功能，降低灰尘等外界因素造成的测定错误；搭载空气减震台，提高测定精度；实现自动进行的高精度测量。

主权项

一种OLED平面显示行业大尺寸超精密全自动坐标量测设备，其特征在于：其包括以下组成部分：装置本体(1)，用于产品尺寸检测；空气干燥机(2)，控制供给装置的空气温度和湿度，并净化空气；控制箱(3)，收纳各种电气零件和控制零件，以及照明装置；控制台(4)，设备的控制部分，有PC本体、控制面板、控制盒以及触摸显示屏组成；桌面控制器(5)，控制装置本体的X、Y、Z轴运动；所述装置本体由基板平台(11)、镜头单元(12)、X轴驱动单元(13)、X轴空气滑块(14)、Y轴驱动单元(15)、Y轴驱动滑块(16)组成，所述基板平台(11)安装在机架(17)上，其上方设置镜头单元(12)，所述镜头单元(12)通过X轴驱动单元(13)、X轴空气滑块(14)、Y轴驱动单元(15)、Y轴驱动滑块(16)在基板平台(11)的上方实现X与Y轴方向的精准位置移动调整。