[实用新型]一种14英寸砷化镓单晶炉有效
| 申请号： | 201720170547.5 | 申请日： | 2017-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN207452293U | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 易德福;守建川 | 申请（专利权）人： | 江西德义半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/42 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 韩凤 |
| 地址： | 344000 江西省抚*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种14英寸砷化镓单晶炉，包括14英寸炉膛、2英寸PBN组件、保温棉、炉芯、石英管、环形加热片、封盖；所述14英寸炉膛呈圆筒状，所述14英寸炉膛内沿其高度方向分为3‑10段温场，所述3‑10段温场的区域内设有多个温控点，所述石英管设置在14英寸炉膛内的底部，所述炉芯设置在石英管内。本实用新型设备精度高，其中分布在3‑10段温场的温控点有3‑10个，稳定控制温场，建立合适的温场梯度，进而有效掌握多个2英寸单晶棒同时生长的合适的温控规律，可一次性批量式生长得到1‑13根单晶，可以提高砷化镓晶棒的生产效率，且成形率较高，可达80％‑100％。 | ||
| 搜索关键词： | 炉膛 温场 石英管 本实用新型 砷化镓单晶 温控点 炉芯 环形加热片 生产效率 稳定控制 保温棉 成形率 单晶棒 砷化镓 一次性 圆筒状 生长 单晶 封盖 晶棒 温控 | ||
【主权项】：
一种14英寸砷化镓单晶炉，其特征在于：包括14英寸炉膛、2英寸PBN组件、保温棉、炉芯、石英管、环形加热片、封盖；所述14英寸炉膛呈圆筒状，所述14英寸炉膛内沿其高度方向分为3‑10段温场，所述3‑10段温场的区域内设有多个温控点，所述石英管设置在14英寸炉膛内的底部，所述炉芯设置在石英管内，所述石英管与炉芯之间设有保温棉，所述环形加热片固定在14英寸炉膛的内壁上，并且环形加热片靠近石英管的一面呈锯齿状，所述2英寸PBN组件整体呈圆柱状，其底部呈漏斗状，安装在石英支撑内部，所述封盖设置在14英寸炉膛的顶部开口处。
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