[实用新型]一种双谐振腔结构的石墨烯光电探测器

摘要

本实用新型提供了一种双谐振腔结构的石墨烯光电探测器，涉及集成光学器件技术领域，其包括顶部谐振腔以及底部谐振腔，顶部谐振腔位于底部谐振腔的上部，顶部谐振腔包括由上往下依次设置的第一分布布拉格反射镜、二氧化硅腔、第二分布布拉格反射镜，底部谐振腔包括由上往下依次设置的顶部谐振腔、空气腔、第三分布布拉格反射镜以及衬底，空气腔内设有一石墨烯吸收层，顶部谐振腔可对光信号进行滤波并为底部谐振腔提供顶部反射镜功能，入射光通过第一分布布拉格反射镜进入顶部谐振腔，经过滤波以及数次反射后进入底部谐振腔内并被吸收层吸收。本实用新型具备高量子效率、高响应速度以及超窄响应线宽的特性。

主权项

一种双谐振腔结构的石墨烯光电探测器，其特征在于：包括顶部谐振腔（1a）以及底部谐振腔（1b），所述顶部谐振腔（1a）位于底部谐振腔（1b）的上部，所述顶部谐振腔（1a）包括由上往下依次设置的第一分布布拉格反射镜（2）、二氧化硅腔（3）、第二分布布拉格反射镜（4），所述底部谐振腔（1b）包括由上往下依次设置的顶部谐振腔（1a）、空气腔（5）、第三分布布拉格反射镜（6）以及衬底（7），所述空气腔（5）内设有一吸收层（8），所述吸收层（8）为单层石墨烯，所述顶部谐振腔（1a）可对光信号进行滤波并为底部谐振腔（1b）提供顶部反射镜功能，入射光通过所述第一分布布拉格反射镜（2）进入顶部谐振腔（1a），经过滤波以及数次反射后进入所述底部谐振腔（1b）内并被吸收层（8）吸收。