[实用新型]一种刮片对位治具及光刻胶涂布机喷嘴清洁装置有效
申请号: | 201720182879.5 | 申请日: | 2017-02-27 |
公开(公告)号: | CN206470533U | 公开(公告)日: | 2017-09-05 |
发明(设计)人: | 尹理才;马士超;王翔;邹宁宁 | 申请(专利权)人: | 北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16;B08B1/00 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及显示技术领域,特别涉及一种刮片对位治具及光刻胶涂布机喷嘴清洁装置。包括喷嘴定位部和与喷嘴定位部连接的刮片定位部,喷嘴定位部包括用于与喷头的出胶缝隙一侧的表面贴合的第一喷嘴定位面;刮片定位部包括用于与刮片的一侧表面贴合的第一刮片定位面;第一刮片定位面与出胶缝隙平行,且当第一喷嘴定位面与出胶缝隙一侧的表面贴合时,第一刮片定位面的延伸方向朝向出胶缝隙。本实用新型提供的刮片对位治具在进行第一喷嘴定位面与喷头的出胶缝隙一侧的表面贴合、以及将刮片与刮片对位治具的第一刮片定位面贴合后,即可实现刮片与喷头的出胶缝隙的对位,提高了刮片的对位效率,从而提高了线性喷嘴的清洁效果的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 对位 光刻 胶涂布机 喷嘴 清洁 装置 | ||
【主权项】:
一种刮片对位治具,用于光刻胶涂布机的线性喷嘴,所述线性喷嘴包括喷嘴本体和与所述喷嘴本体连接的喷头,其特征在于,包括喷嘴定位部和与所述喷嘴定位部连接的刮片定位部,其中:所述喷嘴定位部包括用于与所述喷头的出胶缝隙一侧的表面贴合的第一喷嘴定位面;所述刮片定位部包括用于与刮片的一侧表面贴合的第一刮片定位面;所述第一刮片定位面与所述出胶缝隙平行,且当所述第一喷嘴定位面与所述出胶缝隙一侧的表面贴合时,所述第一刮片定位面的延伸方向朝向所述出胶缝隙。
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