[实用新型]一种多晶硅的清洁装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅的清洁装置。一种多晶硅的清洁装置，包括水箱与清洗箱，水箱设置有通水管，通水管设置有第一阀门，通水管通向清洗箱，清洗箱由高到低依次设置有产品放置箱、待清洗箱、超声波清洗箱、第一漂洗箱、第二漂洗箱、第三漂洗箱和干燥箱，超声波清洗箱设置有第一清洁管，第一清洁管设置有第二阀门，第一漂洗箱设置有第二清洁管，第二清洁管设置有第三阀门，第二漂洗箱设置有第三清洁管，第三清洁管设置有第四阀门，第三漂洗箱设置有第四清洁管，第四清洁管设置有第五阀门，第三漂洗箱连接有第一回流管，收集池设有第二回流管，水箱内设有加热层。本实用新型降低脏片的出现概率，提高了硅片清洗效果。

主权项

一种多晶硅的清洁装置，包括水箱与清洗箱，其特征在于：所述水箱设置有通水管，所述通水管设置有第一阀门，所述通水管通向清洗箱，所述清洗箱由高到低依次设置有产品放置箱、待清洗箱、超声波清洗箱、第一漂洗箱、第二漂洗箱、第三漂洗箱和干燥箱，所述超声波清洗箱设置有第一清洁管，第一清洁管连接通水管，所述第一清洁管设置有第二阀门，所述第一漂洗箱设置有第二清洁管，第二清洁管连接通水管，所述第二清洁管设置有第三阀门，所述第二漂洗箱设置有第三清洁管，第三清洁管连接通水管，所述第三清洁管设置有第四阀门，所述第三漂洗箱设置有第四清洁管，第四清洁管连接通水管，所述第四清洁管设置有第五阀门，所述第三漂洗箱连接有第一回流管，所述第一回流管通向收集池，所述收集池设有第二回流管，第二回流管通向水箱，水箱内设有加热层。