[实用新型]一种多晶硅铸锭生产用冷却水循环装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭生产用冷却水循环装置，属于多晶硅生产设备技术领域，解决了传统冷却装置结构设计不合理、系统不稳定、耗能大以及人工干预因素比较大的问题。主要包括铸锭内循环水系统、一次铸锭外循环水系统、二次铸锭外循环水系统以及PLC控制中心。本实用新型性能稳定，安全节能，系统结构设计合理完善，具有很强的实用性，可广泛应用于多晶硅制造企业。

主权项

一种多晶硅铸锭生产用冷却水循环装置，其特征在于：包括铸锭内循环水系统、一次铸锭外循环水系统、二次铸锭外循环水系统以及PLC控制中心(1)，所述铸锭内循环水系统包括工艺回水管(2)、内循环水池(3)、内循环水泵(4)、一次换热器(16)的A组进水口a、一次换热器(16)的A组出水口b、二次换热器(21)的C组进水口e、二次换热器(21)的C组出水口f以及工艺送水管(5)；所述一次铸锭外循环水系统包括冷却塔(6)、外循环水泵(7)、一次外循出水管(8)、一次换热器(16)的B组进水口c、一次换热器(16)的B组出水口d、一次电动调节阀(9)、一次外循环回水管(10)以及一次外循环出水管(8)；所述二次铸锭外循环水系统包括冷机(11)、冷冻泵(12)、冷冻回水管(13)、冷冻出水管(14)、二次电动调节阀(15)、二次换热器(21)的D组进水口h以及二次换热器(21)的D组出水口g，所述内循环水池(3)经管路与所述内循环泵(4)相连，所述内循环泵(4)的出水管一方面经一号闸阀(17)与工艺送水管一段(18)管路相连，另一方面经二号闸阀(19)、一次换热器A组进水口a、一次换热器A组出水口b、三号闸阀(20)与所述工艺送水管一段(18)管路相连；所述冷却塔(6)经管路与所述外循环水泵(7)相连，所述外循环水泵(7)出口经一次外循环出水管(8)、一次换热器B组进水口c、一次换热器B组出水口d、一次外循环回水管(10)与所述冷却塔(6)相连，所述一次外循环出水管(8)与所述一次外循环回水管(10)之间还经一次电动调节阀(9)相连通；所述工艺送水管一段(18)一方面经四号闸阀(22)与所述工艺送水管(5)相连，另一方面经五号闸阀(23)、二次换热器C组进水口e、二次换热器C组出水口f、六号闸阀(24)与所述工艺送水管(5)相连接；所述冷冻泵(12)出口经冷机(11)、冷冻出水管(14)与所述二次换热器D组进水口h相连，二次换热器D组出水口g经管路与所述冷冻泵(12)相连，所述冷冻回水管(13)与冷冻出水管(14)之间经二次电动调节阀(15)相连通；所述PLC控制中心(1)分别与内循环水泵(4)、外循环水泵(7)、冷却塔(6)电信号连接。