[实用新型]一种晶圆搬送机的晶圆提取和存放机械手

摘要

本实用新型公开了一种晶圆搬送机的晶圆提取和存放机械手，所述机械手安装在晶圆搬送机上，所述机械手包括用于装夹晶圆的机械手臂和用于传送机械手臂的传动机构，所述传动机构包括固定座、设于固定座上表面的直线导轨和设于固定座一侧的动力机构，所述动力机构包括用于驱动的伺服电机、设于固定座两端的同步皮带轮和用于联动同步皮带轮的同步皮带，所述机械手臂包括用于装夹晶圆的托盘和一端固定有托盘的横臂，所述横臂的另一端设有安装块，所述安装块设有滑槽与直线导轨配合，所述安装块上还连接用于与同步皮带进行固定的固定夹，所述固定座的另一侧设有折叠的真空气管。本实用新型用于自动搬送机上对晶圆的自动提取和存放。

主权项

一种晶圆搬送机的晶圆提取和存放机械手，所述机械手安装在晶圆搬送机上，其特征在于：所述机械手包括用于装夹晶圆的机械手臂(1)和用于传送机械手臂的传动机构(2)，所述传动机构包括固定座(3)、设于固定座上表面的直线导轨(4)和设于固定座一侧的动力机构(5)，所述动力机构包括用于驱动的伺服电机(6)、设于固定座两端的同步皮带轮(7)和用于联动同步皮带轮的同步皮带(8)，所述机械手臂包括用于装夹晶圆的托盘(9)和一端固定有托盘的横臂(10)，所述横臂(10)的另一端设有安装块(11)，所述安装块设有滑槽(12)与直线导轨(4)配合，所述安装块上还连接用于与同步皮带进行固定的固定夹(13)，所述固定座的另一侧设有折叠的真空气管(14)。