[实用新型]化学药液供给系统有效
申请号: | 201720203169.6 | 申请日: | 2017-03-03 |
公开(公告)号: | CN206688549U | 公开(公告)日: | 2017-12-01 |
发明(设计)人: | 李春;黄荣燕 | 申请(专利权)人: | 吉姆西半导体科技(无锡)有限公司 |
主分类号: | B01F5/10 | 分类号: | B01F5/10;B01F15/02;B01F15/04 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)32104 | 代理人: | 曹祖良,屠志力 |
地址: | 214194 江苏省无锡市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种化学药液供给系统,包括药液混合槽和至少两路连接药液混合槽的药液供给机构;所述药液供给机构包括原液桶、抽液管、原液输送管路、输送泵、流量计、暂存槽、原液出口管路;原液桶中设有抽液管,抽液管的一端连接原液输送管路一端,原液输送管路的另一端连接暂存槽;输送泵和流量计安装在原液输送管路上;暂存槽上设有用于计量暂存槽中药液量的计量部件;暂存槽底部通过原液出口管路连接药液混合槽;暂存槽的原液出口管路上设有阀门;本实用新型不仅可以避免在输送药液的过程中吸入空气造成药液混合比例不准确,而且可以提高药液使用率,从而降低成本。 | ||
搜索关键词: | 化学 药液 供给 系统 | ||
【主权项】:
一种化学药液供给系统,其特征在于,包括:药液混合槽和至少两路连接药液混合槽的药液供给机构;所述药液供给机构包括原液桶、抽液管、原液输送管路、输送泵、流量计、暂存槽、原液出口管路;原液桶中设有抽液管,抽液管的一端连接原液输送管路一端,原液输送管路的另一端连接暂存槽;输送泵和流量计安装在原液输送管路上;暂存槽上设有用于计量暂存槽中药液量的计量部件;暂存槽底部通过原液出口管路连接药液混合槽;暂存槽的原液出口管路上设有阀门;药液混合槽的底部或一侧下部通过药液吸入管路连接循环泵,循环泵连接三通阀门的第一端,三通阀门的第二端通过循环管路连接药液混合槽的顶部或一侧上部;三通阀门的第三端连接药液混合槽的混合液出口管路。
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