[实用新型]一种单晶硅双腔结构的光学标准具

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅双腔结构的光学标准具，包括两个相连的第一标准器件和第二标准器件，第一标准器件和第二标准器件的厚度相等或不相等，第一标准器件和第二标准器件精密粘合在一起，第一标准器件的光入射面上设有第一镀膜层，第一、第二标准器件的接触面上分别设有第二镀膜层、第三镀膜层，第二镀膜层和第三镀膜层之间设有调节膜腔，第二标准器件的光出射面上设有第四镀膜层，第一镀膜层、第二镀膜层、第三镀膜层和第四镀膜层的膜层厚度各不相同；本实用新型利用两个标准器件构成双腔结构的光学标准具，其厚度很小、稳定可靠，适用范围广；每个标准器件能够根据需要进行镀膜处理，具有更高的锐度和对比度，而且具有滤波作用。

主权项

一种单晶硅双腔结构的光学标准具，其特征在于：包括两个相连的第一标准器件和第二标准器件，所述第一标准器件和第二标准器件的厚度相等或不相等，所述第一标准器件和第二标准器件精密粘合在一起，所述第一标准器件的光入射面上设有第一镀膜层，所述第一标准器件和第二标准器件的接触面上分别设有第二镀膜层、第三镀膜层，所述第二镀膜层和第三镀膜层之间设有调节膜腔，所述第二标准器件的光出射面上设有第四镀膜层，所述第一镀膜层、第二镀膜层、第三镀膜层和第四镀膜层的膜层厚度各不相同。