[实用新型]一种硅片表面磨蚀架及表面磨蚀装置有效
| 申请号： | 201720206096.6 | 申请日： | 2017-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN207087593U | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 朱胜利 | 申请（专利权）人： | 朱胜利 |
| 主分类号： | B24B31/10 | 分类号： | B24B31/10;B24B31/12;B24B41/06 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人： | 陈广民 |
| 地址： | 710038 陕西省西安市灞桥区浐河*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型属于硅片表面处理设备领域，具体涉及一种硅片表面磨蚀架及表面磨蚀装置。该磨蚀架包括固定架、驱动装置、吸附盘和磨蚀盘；磨蚀盘的正面为磨蚀面，磨蚀盘的背面与吸附盘扣合形成吸附空腔，磨蚀盘上还设置有多个与吸附空腔连通的吸附孔；吸附盘通过驱动装置安装于固定架上，吸附盘上还设置有多个与固定架相配合的限位装置；吸附空腔通过吸附盘上设置的吸附管道与负压产生装置连通。本实用新型通过将待处理硅片吸附固定于磨蚀架上，利用磨蚀槽内的磨蚀颗粒悬浮液对硅片进行表现处理，完全采用机械磨蚀工艺替代了传统的酸碱腐蚀工艺，安全环保，处理效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 表面 磨蚀 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片表面磨蚀架，其特征在于：包括固定架、驱动装置、吸附盘和磨蚀盘；所述磨蚀盘的正面为磨蚀面，磨蚀盘的背面与吸附盘扣合形成吸附空腔，所述磨蚀盘上还设置有多个与吸附空腔连通的吸附孔；所述吸附盘通过驱动装置安装于固定架上，所述吸附盘上还设置有多个与固定架相配合的限位装置；所述吸附空腔通过吸附盘上设置的吸附管道与负压产生装置连通。
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