[实用新型]热丝组件及金刚石薄膜沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种热丝组件，包括电极、热丝及承载所述热丝的两个热丝承载架，所述热丝承载架相互平行的装设于电极上，并可在所述电极上滑动而调节相对所述电极的位置，同时，所述热丝组件还包括两进气装置，每一进气装置分别对准一热丝承载架上的热丝，所述热丝将进气装置输出的气体迅速离化，使该气体被激发成沉积金刚石薄膜用的基团，最终沉积于待加工样品上形成金刚石薄膜。本实用新型还公开了一种金刚石薄膜沉积设备。本实用新型的热丝组件及金刚石薄膜沉积设备，解决传统金刚石薄膜沉积设备中热量分布不均、热丝变形、刀具基体冷却不均匀等导致加工不良的问题。

主权项

一种热丝组件，包括电极、热丝及用以安装所述热丝的热丝承载架，其特征在于，所述热丝承载架为两个，两个所述热丝承载架相互平行，且两个所述热丝承载架可拆卸地装设于所述电极上，并可沿着所述电极的轴向方向滑动以调节所述热丝承载架上所述热丝的位置，所述热丝组件还包括两个进气装置，每一所述进气装置分别对准每一所述热丝承载架上的热丝，所述热丝将所述进气装置输出的气体分解为沉积金刚石薄膜用的基团。