[实用新型]一种提升硅料半熔效率的熔硅炉

摘要

本实用新型公开了一种提升硅料半熔效率的熔硅炉，包括气体输入管、外壳、石英坩埚和气体输出管，石英坩埚的外边侧设置有高纯石墨坩埚，高纯石墨坩埚的外边侧设置有保温层，高纯石墨坩埚的底部设置有导热块，导热块的底部设置有第一加热器，第一加热器的底部设置有螺旋转杆，螺旋转杆的一端设置有电动机，石英坩埚的顶部设置有坩埚盖，坩埚盖的表面设置有通气孔，坩埚盖的顶部设置有第二加热器。本实用新型通过高纯石墨坩埚的外边侧设置有保温层，防止热量从侧面散失，确保石英坩埚内温度场的单方向散热性，在高纯石墨坩埚的底部设置有螺旋转杆，使石英坩埚内硅料受热均匀，多个加热器提高硅料的半熔效率，此装置结构简单，实用性强。

主权项

一种提升硅料半熔效率的熔硅炉，包括气体输入管（1）、外壳（2）、石英坩埚（3）和气体输出管（4），其特征在于，所述外壳（2）的顶部设置有气体输入管（1），所述外壳（2）的内部设置有石英坩埚（3），所述石英坩埚（3）的外边侧设置有高纯石墨坩埚（5），所述高纯石墨坩埚（5）的外边侧设置有保温层（6），所述高纯石墨坩埚（5）的底部设置有导热块（7），所述导热块（7）的底部设置有第一加热器（8），所述第一加热器（8）的底部设置有螺旋转杆（9），所述螺旋转杆（9）的一端设置有电动机（10），所述石英坩埚（3）的顶部设置有坩埚盖（11），所述坩埚盖（11）的表面设置有通气孔（12），所述坩埚盖（11）的顶部设置有第二加热器（13），所述外壳（2）的一端设置有气体输出管（4）。