[实用新型]一种晶圆压紧装置

摘要

本实用新型涉及一种晶圆压紧装置，包括腔体和加热盘，腔体的内部布设有压盘，压盘的外壁上均匀布设有两个以上的压杆，压杆上布设有压爪，压盘的底面均匀布设有第一支撑柱和第二支撑柱，第一支撑柱和第二支撑柱的外壁上均套设有回位弹簧，压盘内部布设有加热盘，加热盘的下部依次垂直穿过压盘和第三通孔，加热盘的上表面开设两个以上的盲孔，盲孔内设有导向件，所述腔体的外侧底面纵向设置有支撑块，支撑块的中心开设第二通孔，支撑块和第一支撑柱之间连接有按压把手，按压把手包括把手、滑杆和限位斜块，所述滑杆一端固定有把手、另一端固定有限位斜块，滑杆水平穿过第二通孔。本实用新型结构简单、使用方便、易于操作。

主权项

一种晶圆压紧装置，包括腔体和加热盘，其特征在于，所述腔体的底部均匀开设两个以上的第一通孔，腔体的底部中心开设一个第三通孔，腔体的内部布设有压盘，所述压盘呈圆环形，压盘的外壁上均匀布设有两个以上的压杆，所述压杆呈“L”字形，每个压杆的顶部均布设有一个压爪，所述压爪呈倒“L”形，压爪的长边与压杆的内侧面垂直连接，压盘的底面均匀布设有直径相同、长度不同的第一支撑柱和第二支撑柱，所述第一支撑柱和第二支撑柱纵向均布在一个与压盘同心的圆周上，第一支撑柱的长度大于第二支撑柱的长度，第一支撑柱的外壁上纵向开设有滑槽，第一支撑柱和第二支撑柱的外壁上均套设有回位弹簧，所述回位弹簧位于压盘的底面和腔体的内底面之间，压盘内部布设有加热盘，所述加热盘竖截面呈“T”字型，加热盘的下部依次垂直穿过压盘和第三通孔，加热盘的上表面开设两个以上的盲孔，所述盲孔内设有导向件，所述导向件由外径依次减小的第一导柱和第二导柱相接而成，所述第一导柱和第二导柱在同一轴线上，第二导柱的外壁上套设有一个压盘弹簧，所述腔体的外侧底面纵向设置有支撑块，所述支撑块的中心开设第二通孔，支撑块和第一支撑柱之间连接有按压把手，所述按压把手包括把手、滑杆和限位斜块，所述滑杆一端固定有把手、另一端固定有限位斜块，所述限位斜块呈直角梯形，滑杆水平穿过第二通孔。