[实用新型]可调平面阴极机构及真空镀膜装置

摘要

一种可调平面阴极机构及真空镀膜装置，包括平面阴极部件及多个移位组件。平面阴极部件包括阴极体基座、背板、靶材压板及多个磁体组件；背板与阴极体基座形成收容腔；靶材压板用于将靶材定位于背板的外侧；多个磁体组件设于收容腔中，多个磁体组件与背板相对而设，且多个磁体组件沿阴极体基座的长度方向分布；多个移位组件分别与多个磁体组件连接，各移位组件能带动对应的磁体组件远离或靠近背板运动，以增大或减小磁体组件与靶材的距离，进而增大或减小靶材与磁体组件相对的表面的磁场强度。该可调平面阴极机构中，多个磁体组件可独立调节靶材上与各磁体组件相对的表面的磁场强度，且通过移位组件实现了靶材表面的磁场强度的自动在线调节。

主权项

一种可调平面阴极机构，其特征在于，包括：平面阴极部件，包括阴极体基座、背板、靶材压板及多个磁体组件；所述背板与所述阴极体基座形成收容腔；所述靶材压板用于将靶材定位于所述背板的外侧；所述多个磁体组件设于所述收容腔中，多个所述磁体组件与所述背板相对而设，且多个所述磁体组件沿所述阴极体基座的长度方向分布；及多个移位组件，分别与多个所述磁体组件连接，各所述移位组件能带动对应的所述磁体组件远离或靠近所述背板运动，以增大或减小所述磁体组件与所述靶材的距离，进而增大或减小所述靶材与所述磁体组件相对的表面的磁场强度。