[实用新型]一种非平衡磁控溅射镀锌装置

摘要

本实用新型公开了一种非平衡磁控溅射镀锌装置，包括腔体和FPGA控制装置，所述腔体的内壁左右的上端对称设有两组电生磁装置，所述电生磁装置包括永磁体和线圈，所述线圈缠绕在永磁体的外侧，且所述线圈通过导线连接有功率放大器，所述功率放大器连接有电压/电流调理装置，所述电压/电流调理装置通过导线电性连接有PWM控制器，所述PWM控制器与FPGA控制装置电性连接。该非平衡磁控溅射镀锌装置，通过在腔体的内壁左右的上端对称设置的两组电生磁装置与PWM控制器连接，其PWM控制器能够根据实际需要来调节电流和电压的大小，同时电压检测器和零序互感器能够对PWM 控制器的输出电压进行检测，确保对PWM 控制器的稳定性。

主权项

一种非平衡磁控溅射镀锌装置，包括腔体（1）和FPGA控制装置（15），所述腔体（1）内设有镀膜腔室（2），所述镀膜腔室（2）的上端设有锌靶材（3），且所述镀膜腔室（2）的下端设有传递辊（4），所述腔体（1）的内壁上下两端分别设有阳极板（5）和阴极板（6），其特征在于：所述腔体（1）的内壁左右的上端对称设有两组电生磁装置（7），所述电生磁装置（7）包括永磁体（8）和线圈（9），所述线圈（9）缠绕在永磁体（8）的外侧，且所述线圈（9）通过导线连接有功率放大器（10），所述功率放大器（10）连接有电压/电流调理装置（11），所述电压/电流调理装置（11）通过导线电性连接有PWM控制器（12），所述PWM控制器（12）与FPGA控制装置（15）电性连接。