[实用新型]一种炭刹车盘化学气相沉积炉内的沉积装置

摘要

本实用新型涉及一种炭刹车盘化学气相沉积炉内的沉积装置，包括圆柱形的沉积室，所述沉积室的内腔用于放置炭盘坯体，所述沉积室的底面上设有炭源气体入口，所述沉积室内腔的顶部设有与内腔大小一致的石墨圆环，所述石墨圆环上设有炭源气体出口，所述沉积室的径向上安装有一个石墨盲板，所述石墨盲板的大小与炭盘坯体的大小相一致。本实用新型的有益效果是化学气相沉积炉使用本实用新型后，炭源气体的利用率大幅提高，缩短生产周期，沉积速率明显加快，焦油量显著减少，真空泵的更换量和维修保养工作量明显降低。

主权项

一种炭刹车盘化学气相沉积炉内的沉积装置，其特征在于，包括圆柱形的沉积室，所述沉积室的内腔用于放置炭盘坯体，所述沉积室的底面上设有炭源气体入口，所述沉积室内腔的顶部设有与内腔大小一致的石墨圆环，所述石墨圆环上设有炭源气体出口，所述沉积室的中部安装有一个石墨盲板，所述石墨盲板的大小与炭盘坯体的大小相一致。