[实用新型]一种刻蚀腔室上入口闸门的驱动机构

摘要

本实用新型公开了一种刻蚀腔室上入口闸门的驱动机构，包括驱动轴、气缸、第一驱动块、第二驱动块、驱动齿轮以及驱动齿条，所述气缸固定于所述刻蚀腔室的外壁上，且气缸的气缸轴与第二驱动块相连，第二驱动块与第一驱动块相铰接，第一驱动块固定于驱动轴上，驱动轴转动设于所述刻蚀腔室内，驱动齿轮固定于驱动轴上，驱动齿条固定于所述刻蚀腔室上的入口闸门上，且驱动齿条与驱动齿轮相啮合。本实用新型结构简单，使用效果好，自动化程度高。

主权项

一种刻蚀腔室上入口闸门的驱动机构，其特征在于：包括驱动轴（12）、气缸（13）、第一驱动块（14）、第二驱动块（15）、驱动齿轮（16）以及驱动齿条（17），所述气缸（13）固定于所述刻蚀腔室的外壁上，且气缸（13）的气缸轴与第二驱动块（15）相连，第二驱动块（15）与第一驱动块（14）相铰接，第一驱动块（14）固定于驱动轴（12）上，驱动轴（12）转动设于所述刻蚀腔室内，驱动齿轮（16）固定于驱动轴（12）上，驱动齿条（17）固定于所述刻蚀腔室上的入口闸门上，且驱动齿条（17）与驱动齿轮（16）相啮合。