[实用新型]一种电容式传感器电极有效
申请号: | 201720239456.2 | 申请日: | 2017-03-13 |
公开(公告)号: | CN206618428U | 公开(公告)日: | 2017-11-07 |
发明(设计)人: | 付俊;戴煊龙;常伟;籍庆校;任万伟 | 申请(专利权)人: | 宝力马(苏州)传感技术有限公司 |
主分类号: | G01D5/24 | 分类号: | G01D5/24 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)32257 | 代理人: | 李广 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开一种电容式传感器电极,包括衬底和置于所述衬底上的敏感电容,所述敏感电容包括置于所述衬底上的电容一和叠置于所述电容一上的电容二,所述电容一为设置在衬底上的下电极,所述下电极呈叉指状设置有公共叉指电极和非公共叉指电极,所述公共叉指电极与非公共叉指电极之间涂有敏感介质,所述电容二包括所述公共叉指电极和位于所述敏感电极最外端呈平板状的上电极,所述上电极向下设有延伸部,所述公共叉指电极上覆盖有绝缘层,所述上电极的延伸部与非公共叉指电极导通,所述上电极与所述下电极之间设有敏感介质层,本设计使得整个电容式传感器有效面积大,容值大,灵敏度高。 | ||
搜索关键词: | 一种 电容 传感器 电极 | ||
【主权项】:
一种电容式传感器电极,包括衬底和置于所述衬底上的敏感电容,其特征在于:所述敏感电容包括置于所述衬底上的电容一和叠置于所述电容一上的电容二,所述电容一为设置在衬底上的下电极,所述下电极呈叉指状设置有公共叉指电极和非公共叉指电极,所述公共叉指电极与非公共叉指电极之间涂有敏感介质,所述电容二包括所述公共叉指电极和位于所述敏感电极最外端呈平板状的上电极,所述上电极向下设有延伸部,所述公共叉指电极上覆盖有绝缘层,所述上电极的延伸部与非公共叉指电极导通,所述上电极与所述下电极之间设有敏感介质层。
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