[实用新型]蓝宝石长晶炉置换坩埚装置有效
申请号: | 201720242453.4 | 申请日: | 2017-03-14 |
公开(公告)号: | CN206538503U | 公开(公告)日: | 2017-10-03 |
发明(设计)人: | 徐永亮;于海群 | 申请(专利权)人: | 内蒙古恒嘉晶体材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B17/00 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙)11363 | 代理人: | 逯长明,许伟群 |
地址: | 015100 内蒙古自治区巴彦淖尔*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本申请实施例公开一种蓝宝石长晶炉置换坩埚装置,该装置包括晶体生长室和坩埚置换室,晶体生长室设置于坩埚置换室的顶部,晶体生长室的底部与坩埚置换室连通,晶体生长室与坩埚置换室相连通的区域设置有开合部件;坩埚置换室内部设置有冷却平台、换料平台、上下料平台以及坩埚运送组件;通过本申请实施例提供的蓝宝石长晶炉置换坩埚装置,可在坩埚置换室内,对装有退火后的高温晶体的坩埚与装有原料的坩埚进行置换,将装有原料的坩埚置换入长晶炉后直接升温、长晶;置换出的装有退火后的高温晶体的坩埚,可在坩埚置换室内自然冷却,缩短现有技术中,晶体自然冷却以及取坩埚所需要的时间,提升蓝宝石长晶炉的稼动率。 | ||
搜索关键词: | 蓝宝石 长晶炉 置换 坩埚 装置 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石长晶炉置换坩埚装置,其特征在于,所述装置包括:晶体生长室(100)和坩埚置换室(200);所述晶体生长室(100)设置于所述坩埚置换室(200)的顶部;所述晶体生长室(100)的底部与所述坩埚置换室(200)连通,所述晶体生长室(100)与所述坩埚置换室(200)相连通的区域设置有开合部件(101);所述坩埚置换室(200)内部设置有冷却平台(201)、换料平台(202)、上下料平台(205)以及坩埚运送组件;所述上下料平台(205)、所述冷却平台(201)以及所述换料平台(202)在所述坩埚置换室(200)内部沿同一方向依次设置,所述上下料平台(205)位于所述晶体生长室(100)的底部,所述坩埚运送组件设置于所述上下料平台(205)、所述冷却平台(201)以及所述换料平台(202)的一侧。
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