[实用新型]蓝宝石衬底基片几何参数检测系统

摘要

本实用新型提出了一种蓝宝石衬底基片几何参数检测系统，采用电容式位移传感器对蓝宝石衬底基片的厚度、厚度偏差、翘曲度进行检测。该系统包括传送模块、测试模块、PLC控制模块、信号处理模块和控制模块。传送模块包含电机及电机驱动器和传送皮带；测试模块包含上下相距标准距离的电容式位移传感器三对，按照前中后等距一直线分布固定。信号处理模块对测试模块采集到的信号进行处理，转换成所需要的信号。控制模块根据从信号处理模块得到的信号计算蓝宝石衬底基片的厚度、厚度偏差、翘曲度。与现有测试设备相比，本实用新型具有操作简单、测试效率高和高性价比的优势。

主权项

一种蓝宝石衬底基片几何参数检测系统，其特征在于，包括传送模块、测试模块、PLC控制模块、信号处理模块及控制模块；所述传送模块包括电机及电机驱动器和与所述电机及电机驱动器连接并由其驱动的传送皮带；所述测试模块包括沿着所述传送模块中的传送皮带的运动方向一直线布置的四个有无片传感器，其中布置在中间的两个有无片传感器之间的位置安装有厚度测试探头固定架，还包括上下相距标准距离的三对电容式位移传感器，所述三对电容式位移传感器按照前中后等距一直线分布固定在所述厚度测试探头固定架上；所述PLC控制模块包括PLC控制器，所述PLC控制器的信号输入端分别连接所述四个有无片传感器的信号输出端，所述PLC控制器的信号输出端分别连接所述控制模块、电机及电机驱动器；所述信号处理模块包括信号处理器，所述信号处理器的信号输入端分别连接所述三对电容式位移传感器的信号输出端，所述信号处理器的信号输出端连接所述控制模块；所述控制模块包括通讯单元、模/数&数/模转换器、计算机及数据处理器、显示器；所述通讯单元的信号输入端连接所述PLC控制模块中的PLC控制器的信号输出端，所述通讯单元的信号输出端连接所述模/数&数/模转换器的控制信号输入端，所述模/数&数/模转换器的信号输入端连接所述信号处理模块中的信号处理器的信号输出端，所述模/数&数/模转换器的信号输出端连接所述计算机及数据处理器的信号输入端，所述计算机及数据处理器的显示信号输出端连接所述显示器的显示信号输入端。