[实用新型]光谱共焦检测装置有效
申请号: | 201720244064.5 | 申请日: | 2017-03-13 |
公开(公告)号: | CN206563708U | 公开(公告)日: | 2017-10-17 |
发明(设计)人: | 王俊民;廖福秀;贺佳贵;邹志英 | 申请(专利权)人: | 王俊民 |
主分类号: | G01N21/25 | 分类号: | G01N21/25;G01N21/55;G01N21/01 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人: | 宋南 |
地址: | 256600 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型提供了一种光谱共焦检测装置,包括直线电机位移平台,直线电机位移平台的动子上设置有检测平台或光谱共焦位移传感器,通过将直线电机位移平台和光谱共焦位移传感器相结合,可移动平台相对于静态检测或者仅光谱共焦位移传感器移动而言,极大地提高了检测效率,适用于更复杂形状的检测,直线电机位移平台移动控制精度高、结构简单、运行稳定,提高了检测精度。 | ||
搜索关键词: | 光谱 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种光谱共焦检测装置,其特征在于,包括:检测平台,用于安装被测物体;光谱共焦位移传感器,用于检测被测物体的位置或者形状;若干个直线电机位移平台,所述直线电机位移平台的动子上设置有所述检测平台或所述光谱共焦位移传感器;控制系统,用于控制所述光谱共焦位移传感器和所述直线电机位移平台;机架,用于安装所述检测平台、所述光谱共焦位移传感器、所述直线电机位移平台和所述控制系统。
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