[实用新型]薄膜扭矩传感器

摘要

本实用新型公开了一种薄膜扭矩传感器，包括转接上法兰，转接下法兰，处于同一圆周对称位置上固接在转接上下法兰之间的二根扭柱，连接在二根扭柱上的二片弹性体组成，其特征在于二片弹性体固定在二根扭柱的水平中心线上。弹性体采用溅射薄膜技术制造四个薄膜敏感元件。将四个应变敏感电阻组成惠斯通电桥，当转接上下法兰扭动时，扭柱受到扭力作用并传递到弹性体上的应变敏感电阻，应变敏感电阻阻值发生变化，惠斯通电桥电路失出平衡，通过测量所述惠斯通电桥电路的输出信号可得到相应的扭矩值大小，由于采用了溅射薄膜技术，将应变敏感元件直接制作在弹性体上，传感器的迟滞误差、重复性误差、温度漂移误差大大减小，传感器测量精度得到提高。

主权项

一种薄膜扭矩传感器，包括转接上法兰(1)，转接下法兰(2)，处于同一圆周对称位置上固接在所述转接上法兰(1)与转接下法兰(2)之间的二根扭柱(3)，连接在所述二根扭柱(3)上的二片弹性体(6)组成，其特征在于：所述二片弹性体(6)通过固定孔(61)前后对称固定在所述二根扭柱(3)的水平中心线上；所述二片弹性体(6)分别采用溅射薄膜技术制造有包含四个应变敏感电阻(42)的四个薄膜敏感元件(4)；将所述四个应变敏感电阻(42)组成惠斯通电桥电路，当所述转接上法兰(1)与转接下法兰(2)扭动时，所述扭柱(3)受到扭力作用并传递到所述弹性体(6)上的应变敏感电阻(42)，所述应变敏感电阻(42)阻值发生变化，惠斯通电桥电路失出平衡，通过测量所述惠斯通电桥电路的输出信号可得到相应的扭矩值大小。