[实用新型]一种全自动管式PECVD上下料机

摘要

本实用新型公开了一种全自动管式PECVD上下料机，包括自动换篮装置、硅片输送装置、取/插片定位装置、缓冲升降机构、自动取/插片机器人、石墨舟载具滑台装置、石墨舟上下搬移装置、石墨舟运送车以及机架，自动换篮装置包括上层输送机构、下层输送机构以及上下升降机械手，缓冲升降机构设置于硅片输送装置的末端，取/插片定位装置位于硅片输送装置的中部，自动取/插片机器人位于缓冲升降机构与石墨舟载具滑台装置之间，石墨舟上下搬移装置位于石墨舟载具滑台装置的上部且与墨舟载具滑台装置运动方向垂直，石墨舟运送车位于石墨舟上下搬移装置的前端，本实用新型可自动将石墨舟与篮具相互替换装片、工作效率高、自动化程度高、降低碎片率。

主权项

一种全自动管式PECVD上下料机，其特征在于：包括自动换篮装置(1)、硅片输送装置(2)、取/插片定位装置(3)、缓冲升降机构(9)、自动取/插片机器人(4)、石墨舟载具滑台装置(5)、石墨舟上下搬移装置(6)、石墨舟运送车(7)以及机架(8)，所述自动换篮装置(1)包括上层输送机构(11)、下层输送机构(12)以及上下升降机械手(13)，所述上层输送机构(11)与硅片输送装置(2)水平衔接，所述缓冲升降机构(9)设置于硅片输送装置(2)的末端，所述取/插片定位装置(3)位于硅片输送装置(2)的中部，所述自动取/插片机器人(4)位于缓冲升降机构(9)与石墨舟载具滑台装置(5)之间，所述石墨舟上下搬移装置(6)位于石墨舟载具滑台装置(5)的上部且与墨舟载具滑台装置(5)运动方向垂直，所述石墨舟运送车(7)位于石墨舟上下搬移装置(6)的前端。