[实用新型]旋转检测装置和基板清洗设备有效
| 申请号： | 201720264235.0 | 申请日： | 2017-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN206573606U | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 高庆庆;熊世伟;柴求军;李万箭;杨志强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01P13/00 | 分类号： | G01P13/00;H01L21/67;B08B1/02;B08B11/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种旋转检测装置及基板清洗设备，旋转检测装置用于对被检测物的旋转状况进行监控检测，其包括与被检测物接触的被动部件，当所述被检测物旋转时带动所述被动部件旋转；分别与被动部件和一感应部件连接的触发开关，当所述被动部件旋转时，所述触发开关打开，所述感应部件根据所述触发开关的打开或关闭执行相应的操作。即，本实用新型中的旋转检测装置，其直接与被检测物接触，并且可在被检测物的旋转带动下使触发开关打开，因此可通过确认感应部件所执行的相应操作，判断出被检测物的旋转状况，其检测结果更为准确直观。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 检测 装置 清洗 设备 | ||
【主权项】：
一种旋转检测装置，其特征在于，所述旋转检测装置用于监控被检测物是否发生旋转，所述旋转检测装置包括：一被动部件，所述被动部件与所述被检测物接触，当所述被检测物旋转时带动所述被动部件旋转；一触发开关，所述触发开关分别连接所述被动部件和一感应部件，当所述被动部件旋转时，所述触发开关打开，所述感应部件执行相应的操作。
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