[实用新型]具有背面圆弧形棱边的MEMS芯片有效
| 申请号： | 201720264606.5 | 申请日： | 2017-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN207061863U | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 华亚平 | 申请（专利权）人： | 安徽北方芯动联科微系统技术有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司34102 | 代理人： | 王琪,王玲霞 |
| 地址： | 233042*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了具有背面圆弧形棱边的MEMS芯片，MEMS芯片的底板侧面由垂直于底板下表面的垂直部分和圆弧形棱边组成，所述的圆弧形棱边由下圆角、侧壁、上圆角和顶部构成，所述的圆弧形棱边表面呈波浪形，且布满凹坑，以防止圆片切割或后续封装工序中产生损伤，引起MEMS芯片可靠性差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 背面 圆弧 形棱边 mems 芯片 | ||
【主权项】：
具有背面圆弧形棱边的MEMS芯片，由盖板、MEMS结构层和底板组成，盖板下表面至少有一个上凹腔，底板上表面至少有一个下凹腔，上凹腔和下凹腔共同形成密封腔；MEMS结构层由MEMS结构和MEMS密封区组成，MEMS结构位于密封腔中，并可在密封腔中自由活动；盖板和底板分别键合在MEMS结构层上下两侧，盖板表面还具有焊盘，其特征在于：底板侧面由垂直于底板下表面的垂直部分和圆弧形棱边组成，所述的圆弧形棱边由下圆角、侧壁、上圆角和顶部构成，所述的圆弧形棱边表面呈波浪形，且布满凹坑。
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