[实用新型]一种微波等离子体化学气相沉积金刚石膜的装置

摘要

本实用新型公开了一种微波等离子体化学气相沉积金刚石膜的装置，包括微波源和反应沉积室，所述微波源与波导相连接，所述波导上设有模式转换器，所述模式转换器的下方设有圆柱形型腔，所述圆柱形型腔的下方安装有反应沉积室，所述反应沉积室的顶端设有石英微波窗，所述反应沉积室的侧壁上从上到下依次开设有进气口和观察窗口，所述反应沉积室的侧壁上开设有与测温仪相连接的测温孔，所述反应沉积室内设有沉积台，所述沉积台上方设有微波等离子体球，所述反应沉积室与真空泵相连接。本实用新型通过设置圆柱形型腔和半椭球形石英微波窗，可使得激发等离子体位置稳定、密度高，不仅提高了金刚石膜的沉积效率，还降低了合成成本。

主权项

一种微波等离子体化学气相沉积金刚石膜的装置，包括微波源(1)和反应沉积室(2)，其特征在于：所述微波源(1)与波导(3)相连接，所述波导(3)上设有模式转换器(4)，所述模式转换器(4)的下方设有圆柱形型腔(5)，所述圆柱形型腔(5)的下方安装有反应沉积室(2)，所述反应沉积室(2)的顶端设有石英微波窗(6)，所述反应沉积室(2)的侧壁上开设有进气口(7)，所述进气口(7)下方的反应沉积室(2)侧壁上开设有观察窗口(8)，所述反应沉积室(2)的侧壁上开设有与测温仪(9)相连接的测温孔，所述反应沉积室(2)内设有沉积台(10)，所述沉积台(10)上设有样品托(11)，所述样品托(11)的上方设有微波等离子体球(12)，所述反应沉积室(2)与真空泵(13)相连接。