[实用新型]一种石英舟

摘要

本实用新型公开了一种石英舟，包括用于承载硅片的承载部，承载部包括侧板和底部支撑杆，侧板位于承载部的横向两端，底部支撑杆连接于横向两端的侧板之间，且位于侧板的底部；底部支撑杆朝向承载部的内部的一侧呈尖端状，且底部支撑杆的尖端状区域沿横向开设有多个限位槽。硅片陷入到限位槽中被限位，限位槽也会在硅片上形成舟槽印，与现有技术的圆柱形的底部支撑杆相比，尖端状的形状可以减少限位槽的面积，同时还能保持限位槽的深度，保证限位可靠。

主权项

一种石英舟，其特征在于，包括：承载部(1)，用于承载硅片，所述承载部(1)包括：侧板(12)，位于所述承载部(1)的横向两端；底部支撑杆(13)，连接于横向两端的所述侧板(12)之间，且位于所述侧板(12)的底部；所述底部支撑杆(13)朝向所述承载部(1)的内部的一侧呈尖端状，且所述底部支撑杆(13)的尖端状区域沿横向开设有多个限位槽(11)。