[实用新型]微流控芯片等离子清洗机有效

专利信息
申请号: 201720271059.3 申请日: 2017-03-20
公开(公告)号: CN206622420U 公开(公告)日: 2017-11-10
发明(设计)人: 刘珊珊 申请(专利权)人: 苏州汶颢微流控技术股份有限公司
主分类号: B08B11/00 分类号: B08B11/00;B08B7/00;B01L3/00
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)32256 代理人: 王锋
地址: 215000 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本申请公开了一种微流控芯片等离子清洗机,包括箱体,该箱体具有一清洗工作舱,所述箱体上开设有舱口,该舱口密封有清洗舱门,所述清洗舱门上设置有透明的观察窗口,所述清洗舱门的一端转动连接于所述箱体上;等离子体发生装置,设置于所述清洗工作舱内;真空泵,连接于所述清洗工作舱;控制单元,包括真空度调节档位,该真空度调节档位设置于所述箱体上,所述真空度调节挡板连接于所述真空泵,所述真空度调节档位在一定真空度区间线性可调。本新型清洗机处理的微流控芯片表面处理强度高、表面处理成功率高,同时具有操作快速、简单的优点。
搜索关键词: 微流控 芯片 等离子 清洗
【主权项】:
一种微流控芯片等离子清洗机,其特征在于,包括:箱体,该箱体具有一清洗工作舱,所述箱体上开设有舱口,该舱口密封有清洗舱门,所述清洗舱门上设置有透明的观察窗口,所述清洗舱门的一端转动连接于所述箱体上;等离子体发生装置,设置于所述清洗工作舱内;真空泵,连接于所述清洗工作舱;控制单元,包括真空度调节档位,该真空度调节档位设置于所述箱体上,所述真空度调节挡板连接于所述真空泵,所述真空度调节档位在一定真空度区间线性可调。
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