[实用新型]一种转镜激光清洗装置有效
申请号: | 201720277413.3 | 申请日: | 2017-03-21 |
公开(公告)号: | CN206661841U | 公开(公告)日: | 2017-11-24 |
发明(设计)人: | 周倩;周健;周彪 | 申请(专利权)人: | 苏州艾思兰光电有限公司 |
主分类号: | B08B7/00 | 分类号: | B08B7/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种转镜激光清洗装置,涉及激光清洗技术领域,主要由激光器、光开关、扩束器、准直器、扫描转镜和f‑theta非球面柱面镜构成,所述激光器产生的激光依次经过所述光开关、所述扩束器、所述准直器、所述扫描转镜,所述扫描转镜在电机的带动下匀速转动,将激光反射进入所述f‑theta非球面柱面镜,所述f‑theta非球面柱面镜将所述扫描转镜反射的激光聚焦到待清洗工作面上。基于严配合的指导思想,根据转镜系统的整体架构形式,进行合理布局,十分便捷,具有设计合理,结构简单,操作灵活,通用性好等特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 清洗 装置 | ||
【主权项】:
一种转镜激光清洗装置,其特征在于:主要由激光器、光开关、扩束器、准直器、扫描转镜和f‑theta非球面柱面镜构成,所述激光器产生的激光依次经过所述光开关、所述扩束器、所述准直器、所述扫描转镜,所述扫描转镜在电机的带动下匀速转动,将激光反射进入所述f‑theta非球面柱面镜,所述f‑theta非球面柱面镜将所述扫描转镜反射的激光聚焦到待清洗工作面上。
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