[实用新型]具有凸块保护结构的倒装芯片有效
申请号: | 201720282131.2 | 申请日: | 2017-03-22 |
公开(公告)号: | CN206564251U | 公开(公告)日: | 2017-10-17 |
发明(设计)人: | 吴政达;林正忠 | 申请(专利权)人: | 中芯长电半导体(江阴)有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/60 |
代理公司: | 上海光华专利事务所31219 | 代理人: | 姚艳 |
地址: | 214437 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型提供一种具有凸块保护结构的倒装芯片,其中,所述具有凸块保护结构的倒装芯片至少包括:芯片;形成于所述芯片上表面的连接层;形成于所述连接层上的凸块,且所述凸块通过所述连接层实现与所述芯片的电性连接;以及形成于所述连接层上表面且包围部分凸块的钝化层,从而形成凸块保护结构。本实用新型通过在芯片表面增设围住凸块的钝化层,从而形成凸块保护结构,能够有效保护和固定凸块,增强凸块的强度,防止应力较大时造成凸块裂缝等问题而引起凸块失效。同时,本实用新型由于采用钝化层保护凸块,在制备倒装芯片的后段制程中,省略了粘贴和去除保护膜等步骤,工艺更简单,并进一步节约了成本。 | ||
搜索关键词: | 具有 保护 结构 倒装 芯片 | ||
【主权项】:
一种具有凸块保护结构的倒装芯片,其特征在于,所述具有凸块保护结构的倒装芯片至少包括:芯片;形成于所述芯片上表面的连接层;形成于所述连接层上的凸块,且所述凸块通过所述连接层实现与所述芯片的电性连接;以及形成于所述连接层上表面且包围部分凸块的钝化层,从而形成凸块保护结构。
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