[实用新型]多晶硅还原装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅还原装置，通过在观察窗上设置有两个CCD图像传感器，这两个CCD图像传感器能够从不同的角度同时拍摄硅芯的两个边缘，模拟人的双眼，形成立体视觉，并将摄取的图像发送给中控机进行图像处理，并将获得硅芯直径值在显示终端上显示出来的，从而能够准确测量出硅芯的直径；控制装置与中控机连接，当中控机向控制装置传输的硅芯直径达到控制装置内的预设阈值，控制装置停车操作，从而使得制得的硅棒的规格统一。

主权项

一种多晶硅还原装置，其特征在于，包括：炉体(1)；所述炉体(1)内设置有硅芯支撑件(2)及硅芯(3)；所述硅芯支撑件(2)设置在所述炉体(1)内底部，所述硅芯(3)竖直设置在所述硅芯支撑件(2)顶部；所述炉体(1)上设置有观察窗(4)，所述观察窗(4)能够观察到所述炉体(1)内的所述硅芯(3)；所述观察窗(4)上设置有两个CCD图像传感器(5)，两个所述CCD图像传感器(5)在同一水平面上；所述炉体(1)上设置有中控机(6)，所述中控机(6)分别与两个所述CCD图像传感器(5)、所述炉体(1)外的显示终端(7)连接；所述中控机(6)与对多晶硅还原进行控制的控制装置连接；所述炉体(1)由外向里依次包括第一保温层、金属层、第二保温层(13)和加热层(14)，所述加热层(14)与所述控制装置连接；所述加热层(14)由若干加热电极组成，若干所述加热电极竖直地设置在所述第二保温层(13)的凹槽内；所述硅芯支撑件(2)包括固定在所述炉体(1)底部的底座(8)及设置在所述底座(8)上的固定架，所述硅芯(3)设置在所述固定架上；所述固定架的表面上设置有聚氨酯内衬；所述固定架与水平面严格垂直；所述炉体(1)顶部设置有钟罩(10)，所述钟罩(10)内设置有固定夹头(11)；所述固定夹头(11)设置在所述固定架的正上方；所述观察窗(4)由耐2000℃的玻璃钢制得。