[实用新型]一种多位电阻蒸发装置有效
| 申请号： | 201720285585.5 | 申请日： | 2017-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN207130331U | 公开（公告）日： | 2018-03-23 |
| 发明（设计）人： | 王伟;卢成 | 申请（专利权）人： | 成都国泰真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 成都科奥专利事务所(普通合伙)51101 | 代理人： | 李志清 |
| 地址： | 610000 四川省成都市温江*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多位电阻蒸发装置，包括坩埚、电极和传动系统，传动系统包括步进电机、传动齿轮组和传动轴，坩埚安装在真空镀膜机内，且坩埚设有多个蒸发舟，电极安装在真空镀膜机的底部，传动系统位于真空镀膜机的底部，步进电机和传动轴通过传动齿轮组连接，传动轴穿过真空镀膜机的底部与坩埚连接。本实用新型通过若干个蒸发舟控制需要镀膜的厚度，当一个蒸发舟内的物料用完后，步进电机转动，控制坩埚旋转一定角度，转到下一个蒸发舟继续镀膜，对于需要多种物料镀膜的产品也相当适用，本实用新型的结构简单、工作稳定、适用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电阻 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
一种多位电阻蒸发装置，其特征在于：包括坩埚、电极和传动系统，传动系统包括步进电机、传动齿轮组和传动轴，坩埚安装在真空镀膜机内，且坩埚设有多个蒸发舟，电极安装在真空镀膜机的底部，传动系统位于真空镀膜机的底部，步进电机和传动轴通过传动齿轮组连接，传动轴穿过真空镀膜机的底部与坩埚连接。
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