[实用新型]用于控制谐振型MEMS反射镜的操作的控制电路

摘要

本公开提供了一种用于控制谐振型MEMS反射镜的操作的控制电路。系统包括经由施加到该MEMS反射镜的激活脉冲集合激活面内或者交错MEMS反射镜；检测该MEMS反射镜处的电流；生成用于检测该MEMS反射镜处的该电流方向的变化的窗口；以及如果在该窗口期间检测到该电流的变化则终止该窗口和该激活脉冲。在一些实施例中，两个激活脉冲集合被施加到该MEMS反射镜。

主权项

一种用于控制谐振型MEMS反射镜的操作的控制电路，其特征在于，所述控制电路包括：定时电路，所述定时电路被配置成用于控制对用于操作所述MEMS反射镜的激活脉冲的定时；放大器电路，所述放大器电路被配置成用于从所述定时电路接收第一控制信号，并且用于响应于其而生成用于操作所述MEMS反射镜的第一激活脉冲集合；以及检测电路，所述检测电路被配置成用于检测所述MEMS反射镜处的电流并且用于响应于检测到所述MEMS反射镜处的所述电流的方向变化而生成复位信号；其中，所述定时电路进一步被配置成用于响应于从所述检测电路接收所述复位信号而终止激活脉冲。