[实用新型]一种多晶硅铸锭炉有效
| 申请号： | 201720287369.4 | 申请日： | 2017-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN206814884U | 公开（公告）日： | 2017-12-29 |
| 发明（设计）人： | 王增林 | 申请（专利权）人： | 宁夏金海金晶光电产业有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)11411 | 代理人： | 郑自群 |
| 地址： | 753000 宁夏回族自治*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉，包括炉体；炉体包括上炉体和下炉体；下炉体外绕有螺旋盘管式加热电极；螺旋盘管式加热电极外套有筒体；炉体与螺旋盘管式加热电极之间填充有保温材料；下炉体内还设有2个以上的升降装置，升降装置上设有支撑板，支撑板上设有坩埚；真空装置设于筒体。在本实用新型中下炉体及其外围的螺旋盘管式加热电极能够提高加热效果，使得下炉体内温度均匀，节省下炉体内的空间，提高空间利用率；升降装置的设置便于坩埚上升、下降，使得在下炉体内完成长晶、退火阶段后，进入上炉体，再进行冷却，从而得到多晶硅铸锭。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭炉，其特征在于，包括：炉体；所述炉体包括上炉体(1)和下炉体(2)；所述下炉体(2)外绕有螺旋盘管式加热电极(6)；所述螺旋盘管式加热电极(6)外套有筒体(10)；所述下炉体(2)与所述螺旋盘管式加热电极(6)之间填充有保温材料(8)；所述下炉体(2)内还设有2个以上的所述升降装置(3)，所述升降装置(3)上设有所述支撑板(4)，所述支撑板(4)上设有若干个坩埚(5)；所述真空装置设于所述筒体(10)上。
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