[实用新型]一种硅片快速风干槽

摘要

本实用新型涉及硅片工艺设备技术领域，尤其为一种硅片快速风干槽，包括槽体及鼓风机，槽体内部装有多个加热器和多个风干装置，加热器和风干装置相互间隔布置，每个加热器包含多个串联的加热电阻丝，风干装置包括进风腔及与进风腔相连的吹风口，进风腔的一端密封，另一端设有进风口，进风口套接气管，气管与多通接头的出风口连接，多通接头与气源鼓风机连接。风干槽内多个加热器和多个风干装置，鼓风机打开后，气流经过多通接头分流，进入风干装置；多个加热器加热，提高风干槽内的温度，提高蒸发速度；多个风干装置布置在风干槽不同的方向，多个方向对硅片给风，加速硅片的风干。

主权项

一种硅片快速风干槽，包括槽体(1)及鼓风机(6)，其特征在于：所述槽体(1)内部装有多个加热器(2)和多个风干装置(3)，所述加热器(2)和风干装置(3)相互间隔延槽体(1)圆周方向分部，每个所述加热器(2)包含多个串联的加热电阻丝，所述风干装置(3)包括进风腔(32)及与进风腔(32)相连的吹风口(31)，所述进风腔(32)的一端密封，另一端设有进风口，进风口套接气管(4)，所述气管(4)与多通接头(5)的出风口(51)连接，所述多通接头(5)与气源鼓风机(6)连接。