[实用新型]一种热蒸发镀膜机有效
| 申请号： | 201720290585.4 | 申请日： | 2017-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN206635398U | 公开（公告）日： | 2017-11-14 |
| 发明（设计）人： | 崔海波;李剑辉;张坚 | 申请（专利权）人： | 成都南光机器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司51230 | 代理人： | 杨保刚,李春芳 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型记载了一种热蒸发镀膜机，包括机架，机架内设置有真空室，真空室上罩设有钟罩，真空室的上方转动设置有转台，转台的台边均匀设置有多个基片架，所述机架上设置有翻转基片架的拨动装置，基片架上还设置有限制基片架翻转的限位装置。将待镀膜的基片卡设在基片架上，真空室内被加热的靶材蒸发后沉降在基片表面，待基片的第一面镀膜完成后，启动拨动装置，在拨动装置的作用下基片架开始翻转，待翻转到合适位置时，限位装置将对翻转基片架进行限位，提高了翻转系统的结构稳定性。与此同时，采用拨动装置使得基片架的翻转更为灵活可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 镀膜 | ||
【主权项】：
一种热蒸发镀膜机，其特征在于：包括机架(1)，机架(1)内设置有真空室(2)，真空室(2)上罩设有钟罩(3)，真空室(2)的上方转动设置有转台(4)，转台(4)的台边均匀设置有多个基片架(5)，所述机架(1)上设置有翻转基片架(5)的拨动装置(6)，基片架(5)上还设置有限制基片架(5)翻转的限位装置。
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