[实用新型]一种多晶硅铸锭装置有效

专利信息
申请号: 201720291403.5 申请日: 2017-03-22
公开(公告)号: CN206814885U 公开(公告)日: 2017-12-29
发明(设计)人: 王增林 申请(专利权)人: 宁夏金海金晶光电产业有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06;C30B30/04
代理公司: 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)11411 代理人: 郑自群
地址: 753000 宁夏回族自治*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要: 实用新型公开了一种多晶硅铸锭装置,包括导热筒体;导热筒体外绕有螺旋盘管式加热电极;螺旋盘管式加热电极外套有炉体;炉体与螺旋盘管式加热电极之间填充有保温材料;导热筒体内设置有坩埚和磁控装置;磁控装置设于坩埚下部;炉体外壁上设置有抽真空装置。本实用新型中导热筒体及其外围的螺旋盘管式加热电极能够提高加热效果,使得炉体内温度均匀,节省导热筒体空间,提高空间利用率;磁控装置具有定向凝固的作用,在对多晶硅定向凝固过程中,能够使得杂质分布具有方向性,减少尾部废料的切除率,并且该装置能够多晶硅的纯度,从而获得5N的高纯硅,符合晶硅太阳能对多晶硅纯度的要求。另外,本实用新型的多晶硅铸锭装置减少了原料的浪费。
搜索关键词: 一种 多晶 铸锭 装置
【主权项】:
一种多晶硅铸锭装置,其特征在于,包括:导热筒体(3);所述导热筒体(3)外绕有螺旋盘管式加热电极(4);所述螺旋盘管式加热电极(4)外套有炉体(1);所述炉体(1)与所述螺旋盘管式加热电极(4)之间填充有保温材料(5);所述导热筒体(3)内设置有坩埚(2)和磁控装置(6);所述磁控装置(6)设于所述坩埚(2)下部;所述炉体(1)外壁上设置有抽真空装置(7)。
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