[实用新型]一种全自动插片装置有效
申请号: | 201720295498.8 | 申请日: | 2017-03-24 |
公开(公告)号: | CN206541842U | 公开(公告)日: | 2017-10-03 |
发明(设计)人: | 杨宣教 | 申请(专利权)人: | 张家港市德昶自动化科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/687;H01L21/683;H01L21/677;H01L21/68 |
代理公司: | 常州市权航专利代理有限公司32280 | 代理人: | 尹英 |
地址: | 215600 江苏省苏州市张家港市杨舍镇李*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请公开了一种全自动插片装置,包括机架、以及安装于机架上的第一提升装置、分片装置、硅片吸片装置、硅片传动装置和第二提升装置,第一提升装置和第二提升装置分别位于硅片传动装置在传动方向的两端,机架上还设置有竖直翻转装置和水平转动装置,竖直翻转装置设置于第二提升装置的一侧,水平转动装置的一侧还设置有工装传动排列装置,水平转动装置的上方设置有横梁,横梁上滑动设置有拨片,拨片在工装传动排列装置的传动方向可移动。本实用新型分别通过竖直翻转装置和水平转动装置对花篮实现两次角度翻转,最终使得花篮并排放置,然后通过第三机械手实现整体转移,自动化程度高。 | ||
搜索关键词: | 一种 全自动 装置 | ||
【主权项】:
一种全自动插片装置,其特征在于,包括机架、以及安装于机架上的第一提升装置、分片装置、硅片吸片装置、硅片传动装置和第二提升装置,所述第一提升装置和第二提升装置分别位于硅片传动装置在传动方向的两端,所述机架上还设置有竖直翻转装置,所述竖直翻转装置设置于第二提升装置的一侧,所述竖直翻转装置包括支架和托架,所述托架安装于支架上,所述托架包括两个相垂直的支撑板,所述托架相对支架在竖直平面内可90°翻转,翻转完成后花篮开口向上,所述托架可沿支架向水平转动装置方向移动,所述水平转动装置包括支撑架、第一支撑块和第二支撑块,第一支撑块安装于支撑架上并可沿支撑架在竖直方向上移动,第二支撑块支撑于第一支撑块上并可相对第一支撑块在水平面内90°转动,水平转动装置的一侧还设置有工装传动排列装置,该工装传动排列装置沿其传动方向设置有导轮以及被导轮传动的输送带,水平转动装置的上方设置有横梁,横梁上滑动设置有拨片,拨片在工装传动排列装置的传动方向可移动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的