[实用新型]一种带状离子束注入调节结构有效
| 申请号： | 201720300373.X | 申请日： | 2017-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN206672893U | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 钱锋 | 申请（专利权）人： | 东莞帕萨电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 深圳市智圈知识产权代理事务所(普通合伙)44351 | 代理人： | 韩绍君 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种带状离子束注入调节结构，包括铁芯，铁芯包括上铁芯块、下铁芯块、前铁芯块和后铁芯块，上铁芯块、下铁芯块、前铁芯块和后铁芯块围成一个供带状离子束通过的通孔，通孔的上端设有由多个呈片状的上线圈连续叠加而成的第一马鞍形线圈组，通孔的下端设有由多个呈片状的下线圈连续叠加而成的第二马鞍形线圈组，第一马鞍形线圈组与第二马鞍形线圈组呈镜像设置。通过调节这两个马鞍形线圈的电流方向和大小，可以修正铁芯的极头之间的鼓形磁场，使极头之间的磁场变成完全均匀、并且封闭的线性磁场和均匀的带状离子束，在该磁场内的离子束可以达到均匀性，不受外界杂散磁场的干扰，从而使束流通过时带状束流的截面形状始终保持直线。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带状 离子束 注入 调节 结构 | ||
【主权项】：
一种带状离子束注入调节结构，包括铁芯，其特征在于，所述铁芯包括上铁芯块、下铁芯块、前铁芯块和后铁芯块，所述上铁芯块、下铁芯块、前铁芯块和后铁芯块围成一个供带状离子束通过的通孔，所述通孔的上端设有由多个呈片状的上线圈连续叠加而成的第一马鞍形线圈组，所述通孔的下端设有由多个呈片状的下线圈连续叠加而成的第二马鞍形线圈组，所述第一马鞍形线圈组与所述第二马鞍形线圈组呈镜像设置。
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