[实用新型]石墨舟放片装置有效
| 申请号： | 201720301119.1 | 申请日： | 2017-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN206532761U | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 王世友;吴卫伟 | 申请（专利权）人： | 徐州中辉光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/683;H01L21/677 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 221600 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开的一种石墨舟放片装置，涉及太阳能电池片生产设备技术领域，应用于太阳能电池片生产的PECVD镀膜工艺中。所述放片装置包括控制系统，压缩空气系统，真空发生器以及吸附组，所述压缩空气系统以及真空发生器分别与所述控制系统电连接，与所述吸附组管路连接，真空发生器与压缩空气系统交替工作，使得吸附组交替进行吸片和放片的工作。本实用新型公开的一种石墨舟放片装置，在吸附组释放真空的同时进行正压吹气，硅片在落入卡槽内的同时受到气体正压作用，可以使发生倾斜的硅片与舟叶完全贴合，有效提高硅片在石墨舟中的稳定性以及其镀膜均匀性，从而提高了太阳能电池片的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 舟放片 装置 | ||
【主权项】：
一种石墨舟放片装置，用于硅片的镀膜工艺中，包括控制系统，真空发生器(3)以及吸附组(1)，所述控制系统与所述真空发生器(3)电连接，所述真空发生器(3)与所述吸附组(1)管路连接，其特征在于，所述放片装置还包括压缩空气系统(4)，所述压缩空气系统(4)与所述控制系统电连接，所述压缩空气系统(4)与所述吸附组(1)管路连接，打开控制系统，真空发生器(3)与压缩空气系统(4)交替工作，真空发生器(3)工作，吸附组(1)吸取硅片，放入石墨舟中相应位置，然后释放真空，打开压缩空气系统(4)的同时关闭真空发生器(3)，释放硅片进行镀膜。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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