[实用新型]一种加料、化料、分离杂质、长晶同步进行连续拉晶的晶体生长炉有效
申请号: | 201720301630.1 | 申请日: | 2017-03-27 |
公开(公告)号: | CN206721390U | 公开(公告)日: | 2017-12-08 |
发明(设计)人: | 袁玉平 | 申请(专利权)人: | 江苏恒合科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B15/32;C30B15/28;C30B29/06 |
代理公司: | 宜兴市天宇知识产权事务所(普通合伙)32208 | 代理人: | 丁骞 |
地址: | 214264 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种加料、化料、分离杂质、长晶同步进行连续拉晶的晶体生长炉,它包括炉桶,在所述炉桶内设有组合式坩埚,在所述炉桶上部设有炉盖,在所述炉盖中部上方设有上炉桶Ⅰ,在所述炉盖上侧方设有加料器,在所述上炉桶Ⅰ内设有提拉头Ⅰ,所述上炉桶Ⅰ与立柱相连,所述立柱与上炉桶Ⅱ相连,在所述上炉桶Ⅱ内设有提拉头Ⅱ,在所述提拉头Ⅰ顶部设有称重器Ⅰ,在所述拉头Ⅱ顶部设有称重器Ⅱ,所述组合式坩埚由外坩埚和内坩埚组成。本实用新型可以大大降低拉晶成本,又可以提高单晶硅棒品质。 | ||
搜索关键词: | 一种 加料 化料 分离 杂质 同步 进行 连续 晶体生长 | ||
【主权项】:
一种加料、化料、分离杂质、长晶同步进行连续拉晶的晶体生长炉,其特征在于:它包括炉桶(1),在所述炉桶(1)内设有组合式坩埚,在所述炉桶(1)上部设有炉盖(2),在所述炉盖(2)中部上方设有上炉桶Ⅰ(3),在所述炉盖(2)上侧方设有加料器(4),在所述上炉桶Ⅰ(3)内设有提拉头Ⅰ(5),所述上炉桶Ⅰ(3)与立柱(6)相连,所述立柱(6)与上炉桶Ⅱ(7)相连,在所述上炉桶Ⅱ(7)内设有提拉头Ⅱ(8),在所述提拉头Ⅰ(5)顶部设有称重器Ⅰ(9),在所述拉头Ⅱ(8)顶部设有称重器Ⅱ(10),所述组合式坩埚由外坩埚(11)和内坩埚(12)组成,在所述内坩埚(12)侧壁上设有开口(13),在所述加料器(4)和组合式坩埚之间设有加料管(14),在所述加料器(4)与炉盖(2)之间设有气管(15)。
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