[实用新型]一种连续量产硅纳米线团或硅棉絮状颗粒团的装置

摘要

本实用属于硅纳米材料生产技术领域，涉及一种连续量产硅纳米线团或硅棉絮状颗粒团的装置，包括炉体、坩埚、等离子体喷枪及收集器，坩埚与收集器之间通过生长成型控制器连通，生长成型控制器的内径与长度之比为11～100、内径与其局部的扩径之比为0.03～11，等离子体喷枪的喷头穿过炉体伸入到坩埚内腔，等离子体喷枪外表面包覆有耐高温材料护套，等离子体喷枪内有冷却循环水和产生等离子体弧所需要的气体进入，等离子体喷枪依次连接引弧控制器及直流电源柜，炉体内壁与坩埚之间设置有保温隔热材料，收集器通过管道依次连通真空泵或减压阀、抽风机、热交换器、储气容器后与坩埚内腔连通，适用于连续量产高容量密度的硅纳米线团或硅棉絮状颗粒团。

主权项

一种连续量产硅纳米线团或硅棉絮状颗粒团的装置，其特征在于：包括炉体、炉体内的坩埚、加热蒸发坩埚内的硅材料的等离子体喷枪、收集硅纳米线团或硅棉絮状颗粒团的收集器，坩埚与收集器之间通过生长成型控制器连通，生长成型控制器的内径与长度之比为1:1～100，生长成型控制器的内径与其中扩径部的内径之比为0.03～1:1，等离子体喷枪的喷头穿过炉体伸入到坩埚内腔，等离子体喷枪外表面包覆有耐高温材料制成的护套，等离子体喷枪内有冷却循环水和产生等离子体弧所需要的气体进入，等离子体喷枪电极连接引弧器，引弧器连接直流电源柜，炉体内壁与坩埚之间设置有保温隔热材料，收集器出气口通过管道连通真空泵或减压阀、抽风机、用于冷却气体用的热交换器后与坩埚内腔连通，或热交换器与坩埚内腔之间连通的管道上连通有储气容器，通入坩埚内腔的气体质量与通入生长成型控制器内腔的气体质量之比为1:1～100，为坩埚内腔加料的储料器的进料管或/和加料管上设置有一个以上的控制阀，用于不停机加料。